电浆抛光厂-塘厦电浆抛光-棫楦金属材料

等离子抛光的三个主要优点是成本更低，该过程更环保，并且具有该技术*有的表面下损伤去除效果。等离子抛光晶圆与CMP晶圆比较而言，一直到二极管和MOSFET器件生成，完整的晶圆电气性能和良率结果已经与CMP相当（图1）。

等离子抛光剂不使用消耗性有毒浆料，因此避免了相关的处置问题和高用水量，消除这些工艺要求可以将运营成本降低多达85%。此外，该步骤上游的材料要求不需要改变，电浆抛光加工，之后的工艺也看不到等离子抛光晶圆和CMP晶圆之间的差异。

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什么是等离子抛光？

等离子即物质的*四形态，塘厦电浆抛光，是一种电磁气态放电现象，等离子就是在高温高压下，抛光盐水溶，电浆抛光厂，在高温高压下，电子会脱离原子核而跑出来，原子核就形成了一个带正电的离子，当这些离子达到一定数量的时候可以成为等离子态，等离子态能量很大，当这些等离子和要抛光的物体摩擦时，对工件进行无死角抛光，顷刻间会使物体达到表面光亮的效果。

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工件在等离子抛光前必须除油，电浆抛光厂家，并用去污粉擦洗，以免油污污染抛光槽液。

阴极与阳极面积比。阴极面积控制在阳极面积的1/2～1/3.5。在此情况下可以防止三价铬的增长，过多的三价铬在阳极表面被氧化成六价铬。三价铬含量过多，易使抛光液老化

（3）钝化使不锈钢表面具有足够的清洁度。钝化可以清楚不锈钢表面层的金属污染物，以及嵌入不锈钢的杂质，如铜、锌、镉、铅以及低熔金属、游离铁，使表面所含铬、镍富集而稳定。这些金属的污染容易导致不锈钢的腐蚀破坏。

 （4）消除不锈钢表面热加工氧化物。在钝化过程中使用含有的溶液，兼有侵蚀氧化物和钝化表面的作用。

 （5）钝化处理为后处理，要求不锈钢有各种预处理。包括等离子抛光、机械抛光等改善不锈钢表面状态后进行钝化处理.

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